德國 Pfeiffer 移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 上市！
ASM 39X 系列是針對大型檢漏部件設計研發, 檢漏儀配有干式非接觸式真空泵和渦輪分子泵, 檢漏儀 ASM 392 內置2臺渦輪分子泵, 可以加速泄漏檢測流程, 降低生產設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型檢漏儀中的佼者！移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 短的測試時間
3. 大型彩色觸摸屏, 無需任何工具即可旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 符合 Semi S2 標準
上海伯東 Pfeiffer 移動型檢漏儀 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:
型號 ASM 390 ASM 392 ASM 380
檢測氣體 4He, 3He, H2
小檢測漏率 真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍式: 1X10-8 mbar l/s
對氦氣的抽速 10 l/s 25 l/s, 內置2臺分子泵 7 l/s
泵抽速 35 m3/h
進氣口大壓力 20 mbar 20 mbar 15 mbar
無校準的啟動時間(20°C) 2 min 2 min < 4.5 min
進氣口 DN 40 ISO-KF
響應時間 < 1 s
Interface, 選配 RS-232, I/O, Ethernet
噪音 ≤ 55 dB (A) ≤ 55 dB (A) 53 dB (A)
重量 125 kg 130 kg 110 kg
尺寸(LxWxH) 1072 x 455 x 1025 mm 1072 x 455 x 1025 mm 1065 X 455 X 1025 mm
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 應用域: 可用于半導體和平板顯示器行業以及其他要求高的應用
移動型氦質譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 目在售型號:
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原創作者：北京愛歐德儀器設備有限公司
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